微波加熱式滲碳爐的設計

　　當前我國滲碳爐通常是采用的傳統形式，爐內大部分通入了丙烷或是乙烯，而后通過電阻加熱的方式進行升溫。一般溫度在880℃～930℃，因電阻爐升溫的速度較慢，且丙烷與乙烯加熱后分解出的游離碳原子較少，滲碳的時間通常深度在1mm，需要8小時以上，故效率低。

　　一種新滲碳爐是將電阻加熱的元件改成為微波加熱的形式，即在等離子電源下向爐內通入隋性氣體氬氣作為介質。通過點火裝置，激發了等離子使得爐內速度升溫，當工件達到930℃時，向爐內沖入乙炔氣體，調節微波功率把溫度保持在固定水平。因乙炔在等離子里面易于裂解，且有著高于其它滲碳氣體一倍的游離碳原子，故滲碳速度大大加快，加上微波升溫速度的加快，故該設備大大增進了生產功率。

　　用普通真空滲碳爐，將加熱室改造為微波加熱的方式，加熱部分由離子發生器，等離子發生電源，坩堝等組成，靠控制微波能量來控制滲碳所需的溫度。爐體外部有一套沖氣系統并配有流量計進行流量控制和脈充頻率控制。依據工件滲碳層的深度來控制乙炔的量及脈充次數。從而來達到所需滲碳層深度的目的。