培析高溫退火爐中高溫計的校溫原理

?　　據悉，高溫退火爐采用由加速數字PLD溫控器、熱電偶、高溫計以及熱源組成的閉環式控制系統來準確控溫。經對不同區間的鹵素管燈作了協同控制，可補償溫度控制過程中各個區域的溫度差異，使得襯底上不同區域溫度保持一樣。因被裝于腔體的底部，高溫計只可以收到襯底背面的輻射，而沒法接到燈的輻射。所以，高溫計能準確的測量到襯底的溫度。該款高溫計校溫的原理如下：

　　一、高溫計的介紹：

　　本文所述高溫計為熱輻射光學高溫計，當高溫計接收到被測物體的紅外輻射時，光學信號經過過濾、光電轉換和放大等處理后，變成模擬信號并被傳輸給傳感器的信號接口電路模塊。該模塊對信號進行A/D轉換，并將其轉換為可被計算機識別的數字信號。下文將反饋給計算機的這個數字信號簡稱為高溫計反饋值。

　　二、校溫表：

　　根據相關定律，物體的溫度與其輻射量及光譜發射率有關。對于高溫退火爐來說，高溫計接收到的輻射量主要取決于襯底材料，摻雜、表面自然氧化層以及襯底溫度等因素。針對同種類型的襯底（即材料、摻雜和表面自然氧化層均相同的襯底），高溫計接收到的輻射量與襯底溫度有關。因此，對于同一種型號的襯底而言，高溫計的反饋值與襯底溫度一一對應。這種對應關系構成了校溫數據，校溫表就是用于保存若干個襯底溫度與高溫計反饋值之間關系數據的表格。不同的溫度對應于不同的高溫計反饋值，高溫退火爐計算機根據高溫計反饋的信號值和校溫表，便可計算出襯底的實際溫度。